晶圓成型、氣相外延爐、 磁控濺射臺(tái)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、 光刻機(jī)、離子注入機(jī)、引線鍵合機(jī)、晶圓劃片機(jī)、晶圓減薄機(jī)等。
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應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例